近年來(lái),物理氣相傳輸(PVT)法在制備大尺寸、高質(zhì)量SiC單晶襯底方面取得了重大突破,進(jìn)一步推動(dòng)了SiC在高壓、高頻、高溫電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用。由于SiC粉體在單晶生長(zhǎng)過(guò)程中發(fā)揮著重要作用, 近年來(lái),制備高純的SiC 粉體逐漸成為SiC單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。?
近日,由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)與三安光電股份有限公司共同主辦的“2025功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈高峰論壇”在重慶山城國(guó)際會(huì)議中心盛大召開(kāi)。論壇圍繞功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈中的諸多關(guān)鍵問(wèn)題,多方優(yōu)勢(shì)力量強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,院士領(lǐng)銜,專(zhuān)家齊聚,攜手促進(jìn)功率半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。
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河南中宜創(chuàng)新芯發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理孫毅
期間 ,“分論壇一:8英寸碳化硅晶圓智能制造”上,河南中宜創(chuàng)新芯發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理孫毅,帶來(lái)了“碳化硅半導(dǎo)體粉體進(jìn)展”的主題報(bào)告,詳細(xì)介紹碳化硅半導(dǎo)體粉體技術(shù)進(jìn)展及發(fā)展趨勢(shì)。報(bào)告指出,當(dāng)前我國(guó)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)迎來(lái)“百團(tuán)大戰(zhàn)”,發(fā)展面臨著碳化硅襯底生長(zhǎng)“慢”,碳化硅襯底加工“難”,碳化硅缺陷密度去除工藝壁壘“高”等困難。?
碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值量倒掛,關(guān)鍵部分主要集中在上游端。襯底和外延成本占比高達(dá)70%,遠(yuǎn)高于硅基襯底,導(dǎo)致碳化硅功率器件滲透率較低。當(dāng)前碳化硅襯底由6英寸向8英寸過(guò)渡,預(yù)計(jì)2026年中國(guó)6英寸碳化硅襯底產(chǎn)能將占全球產(chǎn)能的50%左右。?
碳化硅材料具有高折射率、高熱導(dǎo)率、輕量化等優(yōu)勢(shì),隨著中國(guó)碳化硅技術(shù)突破和產(chǎn)能攀升,碳化硅材料在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域已經(jīng)開(kāi)始了大規(guī)模使用,應(yīng)用于光波導(dǎo)鏡片的碳化硅生產(chǎn)工藝也愈發(fā)成熟。相信隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和成本的降低,碳化硅材料一定會(huì)在AR眼鏡領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更廣泛的應(yīng)用。?
報(bào)告認(rèn)為,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,需要合理競(jìng)爭(zhēng),建立良性產(chǎn)業(yè)生態(tài);加強(qiáng)行業(yè)合作,推動(dòng)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展;組成產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,增加抵御國(guó)外行業(yè)限制能力。?
嘉賓簡(jiǎn)介
孫毅,現(xiàn)任平頂山市政協(xié)委員、河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)、中國(guó)機(jī)床工具工業(yè)協(xié)會(huì)磨料磨具分會(huì)行業(yè)專(zhuān)家委員會(huì)副主任委員、行業(yè)品牌推介委員會(huì)副主任委員。
孫毅曾先后榮獲全國(guó)“百佳企業(yè)家”、全國(guó)煤炭工業(yè)綜合利用與多種經(jīng)營(yíng)“先進(jìn)個(gè)人”、河南省企業(yè)科技創(chuàng)新帶頭人、河南省管企業(yè)“勞動(dòng)模范”、平頂山市“解放思想 科學(xué)發(fā)展”先進(jìn)個(gè)人、平頂山市“科技功臣”、開(kāi)封經(jīng)濟(jì)年度人物、開(kāi)封市工業(yè)強(qiáng)市“特殊貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”、平頂山市優(yōu)秀企業(yè)家等榮譽(yù)稱(chēng)號(hào),曾被授予河南省“五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆钡取?/p>
在孫毅的帶領(lǐng)下,傳統(tǒng)煤炭企業(yè)率先“換道領(lǐng)跑”,建成了國(guó)內(nèi)最大碳化硅粉體生產(chǎn)企業(yè)易成新材公司,是碳化硅磨料行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)起草單位,擁有世界最大、產(chǎn)業(yè)鏈最完整的硬脆材料切割刃料生產(chǎn)基地和國(guó)際領(lǐng)先的碳化硅工程陶瓷生產(chǎn)線(xiàn)。他積極實(shí)施“創(chuàng)新+實(shí)業(yè)+資本”發(fā)展模式,為中國(guó)平煤神馬集團(tuán)培育了第一家能源新材料上市公司。他發(fā)揚(yáng)自主創(chuàng)新精神,對(duì)接國(guó)家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè),自主研制碳化硅半導(dǎo)體材料,一舉填補(bǔ)河南省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域空白,年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體項(xiàng)目建成后,將領(lǐng)軍國(guó)內(nèi)碳化硅半導(dǎo)體材料行業(yè)。
關(guān)于中宜創(chuàng)芯
河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司成立于2023年5月24日,是由中國(guó)平煤神馬控股集團(tuán)和平頂山發(fā)展投資集團(tuán)合資設(shè)立的公司,計(jì)劃投資20億元,分期建設(shè)年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體項(xiàng)目。項(xiàng)目一期500噸生線(xiàn)于2023年6月20日開(kāi)工建設(shè),9月20日建成并開(kāi)始試生產(chǎn),9月30日產(chǎn)品成功下線(xiàn),創(chuàng)同類(lèi)行業(yè)建設(shè)和投產(chǎn)的最快速度。2024年3月30日,一期生產(chǎn)線(xiàn)達(dá)產(chǎn),產(chǎn)品純度最高達(dá)到7N8(99.999998%),已在國(guó)內(nèi)三十多家企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)開(kāi)展試用和驗(yàn)證。